ターゲット材（型番銅ターゲット・チタンターゲット他） — 仕様・型番一覧・見積依頼

Name: ターゲット材
Brand: 三菱マテリアル
SKU: 銅ターゲット

三菱マテリアルのスパッタリングターゲット材は、金属・合金・酸化物系の各種材種を高純度品で揃えています。当サービスでは全品種のお取り寄せ・お見積りに対応しており、法人・施工業者様向けに迅速な見積対応を行っています。

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仕様概要

三菱マテリアルのスパッタリングターゲット材は、半導体・フラットパネルディスプレイ・太陽電池・磁気記録媒体などの薄膜形成工程で使用される高純度材料です。金属系・合金系・酸化物系など幅広い材種を提供し、高純度精製・溶解・圧延・焼結の各工程で均質な組織を実現しています。高い成膜レートと膜質均一性を要求される先端デバイス製造現場の厳しい要求に応えます。

メーカー	三菱マテリアル株式会社（Mitsubishi Materials）
用途	半導体デバイス・フラットパネルディスプレイ・太陽電池・磁気記録媒体・光学薄膜などのスパッタリング成膜工程。
カテゴリ	電子部品材料
特徴	金属・合金・酸化物の豊富な材種ラインナップ、高純度精製技術による低不純物含有量、均質な組織による安定した成膜特性、各種サイズ・形状のカスタム対応

正確な仕様はメーカーカタログをご確認ください。三菱マテリアル公式サイト →

主要型番一覧

型番	備考	見積
銅ターゲット	高純度Cu
チタンターゲット	Ti
ITO（酸化インジウムスズ）ターゲット	-

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よくある質問

スパッタリングターゲット材の純度規格やサイズのカスタム対応は可能ですか？

純度グレードや形状・サイズについてはカスタム対応が可能な場合があります。まずは03-3833-6431またはお問い合わせフォームにて要件をご相談ください。

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